产品展示
PRODUCT DISPLAY
行业资讯您现在的位置:好彩客登陆 > 行业资讯 > MARPOSS传感器工艺技术介绍
MARPOSS传感器工艺技术介绍
  • 发布日期:2017-07-19      浏览次数:752
    •    MARPOSS传感器工艺技术介绍
        MARPOSS传感器是一种检测装置,能感受到被测量的信息,并能将感受到的信息,按一定规律变换成为电信号或其他所需形式的信息输出,以满足信息的传输、处理、存储、显示、记录和控制等要求。
        MARPOSS传感器的特点包括:微型化、数字化、智能化、多功能化、系统化、网络化。它是实现自动检测和自动控制的首要环节。传感器的存在和发展,让物体有了触觉、味觉和嗅觉等感官,让物体慢慢变得活了起来。通常根据其基本感知功能分为热敏元件、光敏元件、气敏元件、力敏元件、磁敏元件、湿敏元件、声敏元件、放射线敏感元件、色敏元件和味敏元件等十大类。
        MARPOSS传感器技术已经相当成熟,运用在微电子技术、集成电路技术及其加工工艺。它与传统的IC工艺有许多相似之处,如光刻、薄膜沉积、掺杂、刻蚀、化学机械抛光工艺等,但是有些复杂的微结构难以用IC工艺实现,必须采用微加工技术制造。
        微加工技术包括硅的体微加工技术、表面微加工技术和特殊微加工技术。体加工技术是指沿着硅衬底的厚度方向对硅衬底进行刻蚀的工艺,包括湿法刻蚀和干法刻蚀,是实现三维结构的重要方法。表面微加工是采用薄膜沉积、光刻以及刻蚀工艺,通过在牺牲层薄膜上沉积结构层薄膜,然后去除牺牲层释放结构层实现可动结构。
        除了上述两种微加工技术以外,还广泛地使用多种特殊加工方法,其中常见的方法包括键合、LIGA、电镀、软光刻、微模铸、微立体光刻与微电火花加工等。
    在线客服
    满源彩票线路 广东11选5 广东11选5走势图 128彩票APP 广东11选5开奖结果 千旺彩票登陆 广东11选5开奖结果 106彩票APP 广东11选5 满源彩票登陆
    扫一扫访问手机站扫一扫访问手机站
    访问手机站